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    [推薦]光學(xué)斷層掃描干涉法 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-09-23
    摘要 Aa_@&e  
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    掃描干涉法是實(shí)現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性，只有當(dāng)光程差在相干長度內(nèi)，干涉圖案才會出現(xiàn)。因此，它使精確微觀測量成為可能。使用一個(gè)氙燈搭建了一個(gè)邁克耳孫干涉儀，用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 ~D@