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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 lNa+NtQu %%uE^nX> 掃描干涉法是實現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性,只有當(dāng)光程差在相干長度內(nèi),干涉圖案才會出現(xiàn)。因此,它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀,用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 ja';NIO- ow3.jHsLA x6s|al ozRTY9S
_; 建模任務(wù) c:9n8skE7 L1/`/ z"UC$ g;8 wP5i 結(jié)果 %'H
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