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[推薦]不同輪廓亞波長光柵的成像 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-10-09

1. 摘要

亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產(chǎn)生一個衍射級，因此在這種情況下不會形成圖像。為了克服此問題，可以使用非傍軸照明。在本例中，高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程，包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。