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    [推薦]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 5sMyH[5zY  
    H!g9~a  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 #fe zUU  
    h3-dJgb  
    qQ<7+z<4KP  
    !:dhK  
    亮點(diǎn) yH@2nAn  
    qB=%8$J  
     +3;[1dpgf  
    rOq>jvy  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） *7/MeE6)i  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 v.]W{~PI2V  
     考慮入射光的方向分布 U| 1&=8l  
    cNRe