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    [推薦]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 "a,Tc2xk  
    B]*&lRR  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 }a<MVG:>SF  
    =PZs'K  
    r4D66tF  
    \re.KB#R  
    亮點(diǎn) t9K.Jc0  
    T7W+K7kbI  
     <mm}IdH  
    Ab_aB+g ]  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） FswFY7 8  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 "9WP^[  
     考慮入射光的方向分布 x<ENN>mW1  
    /$9/,5|EA  
    說明：光源 DdSUB  
    p{-1%jQ}]  
    |(P>'fat-p  
    s?`)[K'-  
    說明：光束分束器 n Isi  
    wfZ 'T#1  
    $%t{O[ (  
    b-O4IDIT  
    說明：檢測透鏡系統(tǒng) \C<rg|  
    xxV{1,