[求助]關(guān)于PMMA鍍膜問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

請(qǐng)教下群里的大佬，我在做PMMA鍍分光膜的時(shí)候，9層膜系  ti2o5  大概250nm  科達(dá)公司的硅鋁混合物大概500nm，速率分別為2.5和5.0   離子源是霍爾源，不加溫，鍍后測(cè)溫儀顯示50度，但是放上去的片子還是會(huì)有輕微變形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我該怎么調(diào)整呢？ v)v`896S`  
外面采購(gòu)的鍍膜四個(gè)側(cè)邊沒(méi)有電子槍蒸鍍產(chǎn)生的擴(kuò)散印記，除了電子槍蒸鍍還有什么辦法做這個(gè)產(chǎn)品的AR膜和分光膜嗎？

我看到好多資料有提到退火一說(shuō)，這個(gè)我鍍前鍍后  80度  2h也沒(méi)有什么變化

離子源和電子槍對(duì)板子都有加熱作用。 ac/<N%  
還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會(huì)造成板子變形。 I?Q[ZH:M  
你兩面都鍍一下看看

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還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會(huì)造成板子變形。 ,!oR"b!  
你兩面都鍍一下看看 (2021-02-10 03:29)  th`pf