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發(fā)表于: 2021-02-25
與傳統(tǒng)
光柵
相比,尤其是在非傍軸情況下,超光柵具有優(yōu)勢。在此示例中,我們設(shè)計(jì)了一個將入射
光束
分成3x3光束的二維(2D)超光柵。超光柵由圓形
納米
柱構(gòu)成,并且在VirtualLab Fusion中,我們使用FMM / RCWA評估超光柵的
衍射
效率。 并且,我們展示了如何使用
參數(shù)
優(yōu)化
工具來提高衍射效率的均勻性。
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