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1. 摘要 >?I[dYzut ~GMlnA]6 白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 Uw4KdC MLaH("aen M,:GMO:?a O7:JG[tR* 2. 建模任務(wù) M" %w9)@ 7LKNEll Q;SMwCB0M |odl~juU 3. 干涉條紋的變化 /O+,vRw\A ,D>$N3; Hb IRE 7 zK%CJ 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion <T<?7SE+ a+IU<O-J?
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