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    [求助]投影系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    離線clgxy123
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-20
    我自己算指標(biāo),算出來(lái)投影系統(tǒng)的F數(shù)是0.4,但是看別人的F數(shù)最小也是1.2,我想知道這個(gè)F數(shù)大概多少合適,該怎么調(diào)整
     
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    離線沙突兀
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2021-03-20
    F數(shù)0.4你知道是什么概念嗎,艾里斑半徑是300nm,很大一部分顯微鏡物鏡都沒(méi)到這么小的F數(shù),你算的必然有問(wèn)題。除非你是要搞光刻
    離線koono
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2021-10-22
    1.7左右已經(jīng)可以達(dá)到2k的分辨率了