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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 gpe^G64c` ?7'uo$ 復雜光學光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
|%g^6RN vL`wn= 1. 本案例主要說明: "6lf~%R" 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: q[nX<tO - 基于介質(zhì)的定義類型 kz(%8qi8& - 基于表面的定義類型 /<9VKMR_k 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 DT8|2"H 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 f[HhLAVGK` vX]\Jqy 2. 光柵工具箱初始化 V{O,O,* 初始化 [7ZFxr\:! - 開始→ AiykIER/ 光柵→ G?{BVWtl} 一般光柵光路圖(3D光柵) gXZ.je)NM K~5QL/=1 8=FP92X 注意:對于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。 [bIdhG =M>1;Qr<Z/ 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 @mW: FVI 首先,必須先定義基底的厚度與材料 |Ma"B4 在VirtualLab中,光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進行定義 Pq>r|/~_ 堆?梢愿綄僭诨椎囊粋(cè)或兩側(cè)。 ^!L'Aoy;E 例如,堆棧選擇附屬在第一表面。 # nwEF QA
.vj`[?T 基于介質(zhì)的定義類型 nKp='>Th (例如:柱狀光柵) ^<'5 V) 1. 堆棧編輯器 9; H
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