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摘要 |3SM 5?=haGn 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 ~_GW z,+LPr /qwl;_Jcf rQLl[a 光柵詳細(xì)說明 )&F]j KM:k<pvi N7l`-y a@v}j& •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 RO!em~{D* •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 h|Ah\P?o ,l )7]p*X 光柵階次分析器設(shè)置 AC}[Qp! >gSiH#> •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 6Qw5_V^0o •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 ] i:WP2 •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 y8e'weK wOLA8UYW l6~wm1vO 6>)oG6 常規(guī)設(shè)置 eR|u']Em>T ZT
d)4f $sS;#r0 !V~,aoKTj •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 ODFCA.
t •另外,可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 `iZ){JfAH ?qt
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