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摘要 +7t6k7]c >J|]moSVA 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 [F5h e"
]2=5g a>mm+L8y PMfkA!.Y 光柵詳細(xì)說明 ='TE,et@d z>w`ZD}XY c5|:,wkx %*#n d •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 w
'3#&k+ •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 RT>{*E<I V138d?Mm 光柵階次分析器設(shè)置 ~EK'&Y"1 WD'#5]#Y •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 Isx#9C •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 3s"0SLS4 •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 "zIFxDR# [o*7FEM|< Fu^^i& 1^i Pji/ 常規(guī)設(shè)置 o!4!"O'E _gD
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9 •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 XJ2^MF2BU •另外,可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 V21njRS 3BpZX`l*p 單個(gè)階次設(shè)置 Z'H5,)j0R JoSJH35=: n
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