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G_5NS<JE"S 這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 B7'2@+( P6tJo{l8w 光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度。
Z\$!: S偏振照明的近場強度 NL ceBok P偏振照明的近場強度 KkHlMwv
傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 0`WZ
n m,Tng
oj 參數(shù)掃描 ;Y &2G'
C4C!-12 Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對入射角度的掃描。 %__.-;) o
eR8>5:V_ 它會生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級的強度： c$3ZEe 1` n
ZK$ 在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間變化，照明角度固定。 piiO5fK| 'V Y\ut
QQ：2987619807
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