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    [技術(shù)]JCMSuite應(yīng)用--線型光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-05-11
    %}VH5s9\  
    這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 iP"sw0V8  
    aYb97}kI  
    光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度。 -"dt3$ju  
    S偏振照明的近場強度
    /0XMQy  
    P偏振照明的近場強度 eOE*$pH  
    傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 ={zTQ+7S`  
     pOo016afmA  
    參數(shù)掃描 -;L'Jb>s76  
     %NxQb'  
    Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對入射角度的掃描。  |50sGJE(  
     :1>?:3,`  
    它會生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級的強度： c Pf_B=  
    n%7?G=_kj  
    在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間變化，照明角度固定。 /GC&@y0yi  
    V>`ANZ4  
    QQ：2987619807
     
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