切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 1591閱讀
    • 4回復(fù)

    [分享]均勻性以及波前誤差 [復(fù)制鏈接]

    上一主題 下一主題
    在線infotek
     
    發(fā)帖
    5414
    光幣
    21250
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-05-21
    計算無鍍膜光學(xué)表面中由于誤差產(chǎn)生的波前畸變是相當(dāng)容易的。由于均勻性誤差引起的相位變化,使膜層缺乏均勻性變得復(fù)雜。 QIN."&qC^  
    6) oLus  
    為了計算由于不均勻性造成的波前誤差,我們必須同時考慮膜層表面偏離理想狀態(tài)的運動以及反射或透射時相移的任何變化。避免混淆的最簡單方法是在外表面引入一層中等厚度的材料,使外表面完全均勻(圖1)。然后,我們簡單地計算出反射和透射的相移。在我們的正常約定中,負(fù)相移被轉(zhuǎn)換成波前延遲,通常被視為負(fù)。為了將相位轉(zhuǎn)換成波前誤差,我們將其除以360°。 ihh4pD27g  
    w{~+EolK  
    圖1.計算非均勻前表面膜層(上)和后表面膜層(下)所需的相移。
    E3@QI?n^^  
    一般來說,較薄的干涉膜層會增加反射相移。對于前表面反射鏡,添加補償入射介質(zhì)材料會減少相移,與膜層變化相反。如圖2所示,從純幾何的角度來看,這種補償行為實際上減少了波前誤差。這是非常幸運的,因為干涉反射膜層很厚,很難保證大面積表面的均勻性達到百分之一左右,較厚的膜層就表現(xiàn)出相反的行為。 FJ*i\Q/D  
    1Gt/Tq$_b  
    圖2.在21層四分之一堆棧中,由-1%的均勻性誤差引起的波前誤差。Theoretical Figure是純幾何誤差
    L- pVltX  
    不幸的是,在反射鏡中,膜層相位可能極大地過度補償幾何誤差,導(dǎo)致相反意義上的大尺寸誤差。這在圖3中得到說明。 ^l^fD t  
    l no vykR  
    kyAXRwzI  
    圖3.由一個四分之一波長堆棧組成的擴展區(qū)域反射鏡顯示了這種設(shè)計中固有的過度補償。
    T5Q{{