最近在搞射頻源,大致已經(jīng)有眉目了。 [8T^@YN
具體參數(shù)如下:口徑175mm; VXR>]HUF
陽極電壓500~1200V,電流500~1200mA(自動(dòng)匹配); Urr@a/7
射頻陰極電流500~2000mA。(自動(dòng)匹配) 45,1-? -!
啟動(dòng)時(shí)間比較短,大概5分鐘就能達(dá)到平穩(wěn)。 7f0lQ
冷卻時(shí)間需要比較長(zhǎng),大概10~30分鐘。 yCVI\y\B
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柵網(wǎng)壽命大概2年左右,100小時(shí)保養(yǎng)一次,陰極50小時(shí)保養(yǎng)一次。