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    [分享]光柵階次分析器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-06-09
    摘要 F:T(-,  
    ?Y3i-jY  
    光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 %W\NYSm  
    5=I({=/>  
    &gY578tU  
     kC%H E  
    光柵詳細(xì)說明 dN3^PK  
    Ie/_gz^  
     XYuX+&XW/  
    `e<IO_cg  
    •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 \tYImh  
    •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 A;Y~Hu4KPZ  
    <q$Tk,  
    光柵階次分析器設(shè)置 jH9PD8D\  
    b4cTn 6  
    •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 2PyuM=(Wt  
    •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 +bLP+]7oZ  
    •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 W ,6q1  
    Rf8Obk<  
     ,$:u^;V(  
    @y7KP$t  
    常規(guī)設(shè)置 :JG5)H}j+  
    \O"H#gt  
     n'^`;-  
    Z,2?TT|p  
    •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 pJ}U'*Z2  
    •另外，可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 ;&=CZ6vH  
    -d'F KOD  
    單個(gè)階次設(shè)置 O U7OX]h  
    J{dO0!7y  
     %<nGm\  
    [;,E cw^  
    •在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。 #Mn?Nn  
    •如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項(xiàng)非常有用。 'yX\y 6I  
    WUie `p  
    單個(gè)階次設(shè)置 , 4xNW:!j  
    j[:70%X  
    'uL$j=vB  
    i4D]>  
     {U_ ,y(V  
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    探測(cè)器標(biāo)簽頁中的輸出 v\6.#>NQ  
    1gK^x^l*f  
     5*Zz_ .  
    'XKfKv >;  
    •如果在光學(xué)設(shè)置中處理了光柵階次分析器，則單階次輸出值將記錄到檢測(cè)器結(jié)果選項(xiàng)卡中。 wsB-( 0-  
    •這些值在參數(shù)運(yùn)行和參數(shù)優(yōu)化中也可用。 \A\  
     6jc5B#  
    極坐標(biāo)圖中的輸出 ty['yV-;a  
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