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摘要 Km-lWreTH %B#Ewt@[ 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過(guò)利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。 JTdK\A >l [7L1y) I(
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