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1. 摘要 YuW\GSV00 RJm8K,3# 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 %LaC$w_X ,,-3p#Pbw w)c#ZJHG OnPLz"- 2. 建模任務(wù) N=Yi:+ NjMLq|X bWzc=03 ?B4QTx9B 3. 干涉條紋的變化 -]MP,P% d-2I_ )9 G+yz8@ 43]&SXprH 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion FnU;n ?UZyu4O% f3&//h8 r_CN/
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