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1. 摘要 g2)jd[GM PY.4J4nn| 白光干涉儀是一種非接觸測量技術,用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性,結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 P5;n(E(19 vfBIQfH ye?4^@u u S=NP}4w,_) 2. 建模任務 FVY$A=G H[oCI|k ^<u9I5? "$P|!k45( 3. 干涉條紋的變化 9rD6."G <
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