|
|
摘要 `%.x0~ ih @qB1:==@7 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類(lèi)透鏡的光線(xiàn)和場(chǎng)追跡分析。通過(guò)場(chǎng)追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱(chēng)焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng)，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 ;CA7\&L>
0{>P^ z
 AeEF/*
okD7!)c r= 建模任務(wù) L)_L#]Yy Jek)`D 
MU~n vs;: 概述 y _Nn%(j #}zL? s^G •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 Z"a]AsG/Q# •接下來(lái)，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 } mEsb? |79n
1;+\?
 `L
{dF G
4 C 7 光線(xiàn)追跡仿真 :_+Fe,h>| 1ogh8% •首先選擇“光線(xiàn)追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 e[J0+
x#;r •單擊go！ 3,{tGNl| •獲得了3D光線(xiàn)追跡結(jié)果。 *M( )z.N G1:2MPH
 R6 dD17
|
