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摘要 ^n5rUwS> H8'q Y 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 X6hp} Mx7 \4/zvlo]h u%o]r9xl' 建模任務(wù) DFk0"+Ky s9Tp(Yr,k 2ncD,@ij ^Uj\s
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