左圖:角分辨光散射測(cè)量?jī)xALBATROSS;右圖:532 nm濾光片在不同波長(zhǎng)下的ARS分布。
B<L7`xL 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 , @UOj=
, d $"`W2 ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一個(gè)大型的測(cè)量樣本反射光,透射光,以及散射光分布的實(shí)驗(yàn)室測(cè)量系統(tǒng)。其特點(diǎn)是對(duì)角度的靈敏度高,并且該系統(tǒng)可以測(cè)量三維空間中的散射分布。被測(cè)樣本包含光學(xué)和非光學(xué)表面以及其他光學(xué)材料和光學(xué)元件。其光源系統(tǒng)為變頻OPO激光,也可測(cè)量光散射的光譜特性。 D|Q7dIZm ms5?^kS2O 特征及技術(shù)參數(shù) Y!oLNGY
?2#'>B - 可測(cè)量參數(shù):散射光(角分辨散射ARS,雙向反射分布BRDF, LA_{[VWYp> - 雙向透射分布BTDF,散射損耗),θ-2θ測(cè)量,反射,透射。(3D) E"VFBKB - 入射光與探測(cè)器可共面或異面。 ?ckV 2
- 入射角,散射角(方位角和極角)以及光源的偏振態(tài)均可調(diào)整。 OFtf)cGE - 可對(duì)樣品進(jìn)行掃描。 z]rr
Q=dAA - 動(dòng)態(tài)范圍: 13個(gè)數(shù)量級(jí)。 r@C~_LgL) - 最低ARS級(jí)別:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 :0B 7lDw - 對(duì)粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 3s?u05_ - 波長(zhǎng)范圍:225 nm 至 1750 nm (光譜帶寬<0.05 nm)。 I ?Dp*u* - 樣本規(guī)格:最大尺寸直徑700mm。 L$3