左圖:角分辨光散射測(cè)量?jī)xALBATROSS;右圖:532 nm濾光片在不同波長(zhǎng)下的ARS分布。
~"Pu6-\VT 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 *acN/Ca1
}WN0L?h.E ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一個(gè)大型的測(cè)量樣本反射光,透射光,以及散射光分布的實(shí)驗(yàn)室測(cè)量系統(tǒng)。其特點(diǎn)是對(duì)角度的靈敏度高,并且該系統(tǒng)可以測(cè)量三維空間中的散射分布。被測(cè)樣本包含光學(xué)和非光學(xué)表面以及其他光學(xué)材料和光學(xué)元件。其光源系統(tǒng)為變頻OPO激光,也可測(cè)量光散射的光譜特性。 q*<Fy4j @Gs*y1 特征及技術(shù)參數(shù) ed,w-;(n~
gZ5E%']sT - 可測(cè)量參數(shù):散射光(角分辨散射ARS,雙向反射分布BRDF, [I`r[u - 雙向透射分布BTDF,散射損耗),θ-2θ測(cè)量,反射,透射。(3D) <By6%<JTn - 入射光與探測(cè)器可共面或異面。 09f:%!^u - 入射角,散射角(方位角和極角)以及光源的偏振態(tài)均可調(diào)整。 wW7W+,{o - 可對(duì)樣品進(jìn)行掃描。 MZ(TST" - 動(dòng)態(tài)范圍: 13個(gè)數(shù)量級(jí)。 H?dmNwkPY - 最低ARS級(jí)別:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 JY\8^}'9 - 對(duì)粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 a:PS}_. - 波長(zhǎng)范圍:225 nm 至 1750 nm (光譜帶寬<0.05 nm)。 VtR?/+8X - 樣本規(guī)格:最大尺寸直徑700mm。 n\nC.|_G@ - 方便操作的測(cè)量及分析軟件。 o8:K6y - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 Fb<r~2 Y4%Bx8 應(yīng)用 v;E7UL
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d(>7BV 對(duì)表面,薄膜以及材料性質(zhì)進(jìn)行表征和分析 .b4_O
CGg - 產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)。 `ym@U(;N - 光學(xué)性能分析。 +\`D1d@ - 粗糙度分析。 *0 ;DCUv +F &,,s"&
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