切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 6559閱讀
    • 7回復

    [求助]磁控濺射靶的問題 [復制鏈接]

    		 上一主題 下一主題
    離線mainbomb
     
    發(fā)帖
    31
    光幣
    9
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-03-11
    — 本帖被 cyqdesign 從 光學資源 移動到本區(qū)(2007-04-06) —
    就我所用的磁控濺射儀，磁控濺射的靶在用一段時間之后，在靶邊緣的特定區(qū)域總是會發(fā)藍，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，請問是怎么回事？還有濺射鍍膜的均勻性不好，有什么可以改善的方法嗎？ yU_9a[$V  
    請大俠不吝賜教 ！非常感謝
     
    分享到
    離線wolfliu
    發(fā)帖
    47
    光幣
    96
    光券
    0
    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-04-05
    你使用的是什么磁控濺射設備？
    離線wolfliu
    發(fā)帖
    47
    光幣
    96
    光券
    0
    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-04-10
    很可能是污染所致，比如輕微的氧化。
    離線荷塘月色
    發(fā)帖
    8
    光幣
    17
    光券
    0
    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-07-02
    靶溫度過高，冷卻效果不好。
    離線luochan
    發(fā)帖
    2
    光幣
    4
    光券
    0
    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2007-08-10
    請問您所使用的靶材主要用于哪方面的用途��？
    離線jianfei88
    發(fā)帖
    7
    光幣
    7
    光券
    0
    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2007-08-10
    真空度！
    離線青桃
    發(fā)帖
    3
    光幣
    3
    光券
    0
    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2007-08-20
    兩端遮擋,表面輕微氧化
    離線dianke
    發(fā)帖
    17
    光幣
    53
    光券
    0
    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2007-09-03
    請問 是什么設備