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    [技術(shù)]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-12
    激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0） 2QRn c"  
    +:%FJCOT  
    應(yīng)用案例概述     :Qo  
    [Mc5N  
    系統(tǒng)細節(jié) ONiI:Z>%  
    [B @j@&  
    光源 /*^|5>-`i1  
    – 綠光二極管 9 /(c cj  
    元件 iBC>w+t14  
    – 雙軸振鏡掃描儀 X$iJ|=vW  
    – F-Theta物鏡 UiZp -Y%ki  
    探測器 wP0+Xv,  
    – 場曲和畸變探測器 "|*Kf#  
    – 光束強度剖面探測器 ; S ` -9}6  
    – 焦點區(qū)域探測器 mS}x2 &  
    – 光束參數(shù)探測器 hyfnIb@~}  
    模擬/設(shè)計 =L),V~b  
    – 光線追跡：分析掃描場尺寸，場曲以及畸變 (<ZkmIXN  
    – 場追跡：考慮衍射效應(yīng)，進行更精確的光束尺寸和剖面的研究 /.YAFH|i)"  
    {FY[|:Cp  
    系統(tǒng)說明 +JS/Z5dl+}  
    n(YHk\2  
    fR%1FXpK&  
    激光掃描系統(tǒng)的性能評估 Wd56B+  
    3;S`<  
     一個激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個掃描儀單元和一個F-Theta物鏡，在一維掃描過程中（沿入射角Theta），通過分析光束的場曲和畸變來評估其性能。 ZNpExfGEU  
     此外，計算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。 !LOors za  
    Guw|00w,Q$  
    模擬和設(shè)計結(jié)果 8{SU?MHQLE  
    Pph8"`mv.m  
    Jhy t)@7/,  
    其他的VirtualLab特征 cgxF Ev  
     s[2ZxCrCw  
    在此案例中，你將從以下選擇的特征中獲益： uoY`qF.`  
     各種探測器 <!}l~Ln15  
    - 測量與反射鏡掃描角度相關(guān)的焦點位置 "=\_++  
    - 測量探測器平面上的光束位置 /dJ)TW(Ir  
    - 使用焦點區(qū)域探測器計算焦點區(qū)域中的場 9_WPWFO  
     參數(shù)耦合 _OU.JrqC  
    - 針對掃描光學(xué)部分的期望輸入掃描角度Theta來調(diào)整反射鏡方位 DwY<qNWT  
     參數(shù)運行 R