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測量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) D,(:))DmR vL^ +X`.td 應用示例簡述 Kxz|0l 6K=}n] n 1. 系統(tǒng)說明 up0=Y
o@ /q'-.-bo 光源 q9a6s{, — 氦氖激光器(波長632.8nm;相干長度>1m) TqOH(={ 元件 (N)>?r@n` — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡 H\9ePo\b~ 探測器 i*A_Po — 干涉條紋 raU_Z[ 建模/設計 'm-5 — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 :hR^?{9Z4> — 幾何場追跡加(GFT+): l0g+OMt 計算干涉條紋。
?.beN[X 分析對齊誤差的影響。 L 7LUy$M-< wqJl[~O$ 2. 系統(tǒng)說明 F}1._I`- <p2\;\?4z 參考光路 N%e^2O) {/>uc,8O 3. 建模/設計結果 8qxZ7|Y@ %P(2uesd HYY+Fv5 4. 總結 %5@>
nC?`[ ltNY8xrdGN 馬赫澤德干涉儀的干涉圖樣的計算 :()K2<E LZE9]Gd 1. 仿真 I#7H)^us 以光線追跡對干涉儀的仿真。 v!3Oq.ot 2. 計算 C^,J6;' 采用幾何場追跡+引擎以計算干涉圖樣。 BJ
fBYH,M 3. 研究 d5R2J:dI 不同對齊誤差在干涉圖上的影響,如傾斜和偏移 'UZ i>Ta LW">9;n 利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。 uX&h~qE/ %|j`;gYV 應用示例詳細內容 aOsc_5XDR; 系統(tǒng)參數 wub7w# 1. 仿真任務:馬赫澤德干涉儀 TB84} ((^vsKT 通過使用這種干涉儀設置,可測量兩完全相同光束線間的相對相移。 +$/NTUOP I'N!j>5oX 這使得可以對一個樣品元件引起的相移進行研究。 ?MFXZ/3(ba %/hokyx 2. 說明:光源 IMpL+W. ZZfi,0R #c'}_s2F[ 使用一個頻率穩(wěn)定、單模氦氖激光器。 lh!8u<yv* 因此,相干長度大于1m Y|W#VyM- 此外,由于發(fā)散角很小,所以不需要額外的準直系統(tǒng)。 XIl#0-E0X 在入射干涉儀之前,高斯波以瑞利長度傳播。 1W}k>t8?h' [[]NnWJ gT,iH. V|{~9^ 3. 說明:光源 t$R0UprK 3Gw*K-. 4FKgp|Y0 采用一個放大因子為3的消色差擴束器。 %%h.`p1 擴束器的設計是基于伽利略望遠鏡。 [d>2F 因此,在光學表面序列(OIS)中結合了一個擴束和準直系統(tǒng)。 w[EEA_\ 與開普勒望遠鏡相比,在擴束系統(tǒng)中不會成實像。 PMvm4< 4. 說明:光學元件 kY'C'9p $%ww$3 !9j6l0
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