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測量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) 0XR;5kd% qrM{b= 應用示例簡述 CFkW@\] e"o6C\c 1. 系統(tǒng)說明 1%/ NL?8# @;m@Luk 光源 FU]8.)`G — 氦氖激光器(波長632.8nm;相干長度>1m) 6cQeL$,SQ 元件 "u Of~e" — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡 ~.4W,QLuD 探測器 \'It,PN — 干涉條紋 Y @XkqvX 建模/設計 Z/NGv — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 Jv 6nlK` — 幾何場追跡加(GFT+): RFZU}.*K$ 計算干涉條紋。 KD%xo/Z. 分析對齊誤差的影響。 P^K?E
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