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該案例介紹了一個(gè)正弦光柵的仿真,該光柵表面具有隨機(jī)變化的粗糙度結(jié)構(gòu)。此外,分析了對(duì)衍射級(jí)次的影響,特別是衍射效率。 v1aE[Q K2@],E?e%| 1. 建模任務(wù) p`=v$_]?( Ja[7/ }xb?C""q^q 一個(gè)正弦光柵不同衍射級(jí)次的嚴(yán)格分析和優(yōu)化。 }7+`[g 對(duì)于該仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 $a.,;: 3;<Vv*a"Dm 2. 建模任務(wù):正弦光柵 6-t:eo9 *a2-Vte x-z方向(截面視圖) JF6=0 iQ8T3cC+ 6Z>G%yK 光柵參數(shù): ,w|Or}h]7 周期:0.908um 4SNDKFw 高度:1.15um (p!w`MSv (這些參數(shù)提供了一個(gè)具有均勻分布傳輸效率0級(jí)和±1級(jí)衍射級(jí)次,詳見(jiàn)案例341) VC.zmCglo^ ^o-)y"GJ 3. 建模任務(wù) h}n?4B~Gi ('oA{,#L :\cid]y3 4%"Df1U 8
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