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    [技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-25
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 1_b*j-j  
     $}Ab R:z  
    1. 建模任務(wù) 9;'#,b*(  
     b50mMW tG  
    :w -:B^VB  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) 4i PVpro  
    E#\Oe_eq~N  
    damG*-7Svx  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) peF)U !`D  
     LRg]'?  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： t>AOF\  
     J&s$Wqf  
    1. 圓柱的水平間距：250nm 7nPcm;Er  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm x9AFN  
    3. 列距：125nm Lg~C:BN F  
     X