案例315（3.1） | f :1Br z' FpP 該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 Rxg ^vM*
j 4!g&F _y 1. 線柵偏振片的原理 8&g`Uy/b 0Gq}x;8H& 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 h{J=Rq
2. 建模任務(wù) C78V /{
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