切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 1186閱讀
    • 0回復(fù)

    [技術(shù)]紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

    		 上一主題 下一主題
    離線infotek
     
    發(fā)帖
    5479
    光幣
    21559
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-26
    案例315（3.1） 1NA.nw.  
    x-&@wMqkc  
    該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 ) ahA[  
     ZeaA%y67U  
    1. 線柵偏振片的原理 A*547=M/(j  
    fHd#u%63K  
    帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 mSl.mi(JiZ  
    2. 建模任務(wù) [j/9neaye  
    hy"\RW  
    UJ')I`zuI  
     全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 K/yxE|w<  
     偏振元件的重要特性： R|87%&6']  
     偏振對(duì)比度 =R$u[~Xl2X  
     透射率 h^(* Tv-!  
     效率一致性 <&g,Nc'5C  
     線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬)     kzUIZ/+ZL,  
    l L@XM2"  
    3. 建模任務(wù)： v\%HPMlh  
    x-z方向(截面)                         x-y方向(俯視圖)
    !Pfr,a  
    4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) ['tY4$L(  
     e)? .r9pA;  
    偏振片#1: y'nK>)WG4  
     偏振對(duì)比度不小于50@193nm波長 nB