1982年,中科院研制出的KHA-75-1光刻機,和當(dāng)時最先進(jìn)的
佳能光刻機相比,差距也就在四年左右?上Ш罄m(xù)因為沒有投放到商用領(lǐng)域,以及科研經(jīng)費的不足,為了促活經(jīng)濟(jì),國內(nèi)開始采購集成
電路生產(chǎn)線
設(shè)備,國產(chǎn)光刻機的研究,無奈進(jìn)入了停滯狀態(tài)。
P(p|NRD@1 Tog'3k9Uw HC$}KoZkC 關(guān)于KHA-75-1光刻機
|-]'~@~ 科學(xué)院109廠、哈爾濱量具刃具廠、阿城繼電器廠共同研制的KHA75-1型接近、接觸式半自動光刻機。