目 錄 1 入門指南 4 1.1 OptiBPM安裝及說明 4 1.2 OptiBPM簡介 5 1.3 光波導(dǎo)介紹 8 1.4 快速入門 8 2 創(chuàng)建一個簡單的MMI耦合器 28 2.1 定義MMI耦合器材料 28 2.2 定義布局設(shè)置 29 2.3 創(chuàng)建一個MMI耦合器 31 2.4 插入input plane 35 2.5 運行模擬 39 2.6 在OptiBPM_Analyzer中查看模擬結(jié)果 43 3 創(chuàng)建一個單彎曲器件 44 3.1 定義一個單彎曲器件 44 3.2 定義布局設(shè)置 45 3.3 創(chuàng)建一個弧形波導(dǎo) 46 3.4 插入入射面 49 3.5 選擇輸出數(shù)據(jù)文件 53 3.6 運行模擬 54 3.7 在OptiBPM_Analyzer中預(yù)覽模擬結(jié)果 57 4 創(chuàng)建一個MMI星形耦合器 60 4.1 定義MMI星形耦合器的材料 60 4.2 定義布局設(shè)置 61 4.3 創(chuàng)建一個MMI星形耦合器 61 4.4 插入輸入面 62 4.5 運行模擬 63 4.6 預(yù)覽最大值 65 4.7 繪制波導(dǎo) 69 4.8 指定輸出波導(dǎo)的路徑 69 4.9 在OptiBPM_Analyzer中預(yù)覽模擬結(jié)果 71 4.10 添加輸出波導(dǎo)并預(yù)覽仿真結(jié)果 72 4.11 在OptiBPM_Analyzer中預(yù)覽模擬結(jié)果 74 5 基于VB腳本進行波長掃描 75 5.1 定義波導(dǎo)材料 75 5.2 定義布局設(shè)置 76 5.3 創(chuàng)建波導(dǎo) 76 5.4 修改輸入平面 77 5.5 指定波導(dǎo)的路徑 78 5.6 運行模擬 79 5.7 在OptiBPM_Simulator中預(yù)覽模擬結(jié)果 81 5.8 應(yīng)用VB腳本進行模擬 82 5.9 在OptiBPM_Analyzer中查看模擬結(jié)果 84 6 應(yīng)用VB腳本設(shè)計一個3dB的耦合器 88 6.1 定義3dB耦合器所需的材料 88 6.2 定義布局結(jié)構(gòu) 89 6.3 繪制并定位波導(dǎo) 91 6.4 生成布局腳本 95 6.5 插入和編輯輸入面 97 6.6 運行模擬 98 6.7 修改布局腳本 100 6.8 在OptiBPM_Analyzer中預(yù)覽模擬結(jié)果 102 7 應(yīng)用預(yù)定義擴散過程 104 7.1 創(chuàng)建一個由鈦在鈮酸鋰中擴散所形成的線性波導(dǎo) 104 7.2 定義布局設(shè)置 106 7.3 設(shè)計波導(dǎo) 107 7.4 設(shè)置模擬參數(shù) 108 7.5 運行模擬 110 7.6 基于鈦和鎂在鈮酸鋰中的擴散,創(chuàng)建一個掩埋波導(dǎo) 111 7.7 將模板以新的名稱進行保存 111 7.8 添加一個新的輪廓 111 7.9 創(chuàng)建上方的線性波導(dǎo) 112 8 各向異性BPM 115 8.1 定義材料 116 8.2 創(chuàng)建輪廓 117 8.3 定義布局設(shè)置 118 8.4 創(chuàng)建線性波導(dǎo) 120 8.5 設(shè)置模擬參數(shù) 121 8.6 預(yù)覽介電常數(shù)分量 122 8.7 創(chuàng)建輸入面 123 8.8 運行各向異性BPM模擬 124 9 創(chuàng)建一個chip-to-fiber對接耦合器 127 9.1 定義chip-to-fiber對接耦合器的材料和波導(dǎo) 128 9.2 定義布局設(shè)置 130 9.3 創(chuàng)建一個chip-to-fiber對接耦合器 130 9.4 編輯輸入平面 132 9.5 設(shè)置模擬參數(shù) 134 9.6 運行模擬 135 10 電光調(diào)制器 138 10.1 定義電解質(zhì)材料 139 10.2 定義電極材料 140 10.3 定義輪廓 141 10.4 繪制波導(dǎo) 144 10.5 繪制電極 147 10.6 靜電模擬 149 10.7 電光模擬 151 11 折射率(RI)掃描 155 11.1 定義材料和通道 155 11.2 定義布局設(shè)置 157 11.3 繪制線性波導(dǎo) 160 11.4 插入輸入面 160 11.5 創(chuàng)建腳本 161 11.6 運行模擬 163 11.7 在OptiBPM_Analyzer中預(yù)覽結(jié)果 163 12 應(yīng)用用戶自定義擴散輪廓 165 12.1 定義材料 165 12.2 創(chuàng)建參考輪廓 166 12.3 定義布局設(shè)置 166 12.4 用戶自定義輪廓 167 12.5 根據(jù)參考輪廓檢測用戶自定義輪廓 170 13 馬赫-澤德干涉儀開關(guān) 172 13.1 定義材料 173 13.2 創(chuàng)建鈦擴散輪廓 173 13.3 定義晶圓 174 13.4 創(chuàng)建器件 175 13.5 檢查x-y切面的RI輪廓 177 13.6 定義電極區(qū)域 178 |