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摘要 sM[I4.A3 &;TJ~r#K 掠入射反射光學(xué)元件在X射線光路中廣泛使用,特別是Kirkpatrick-Baez(KB)橢圓反射鏡系統(tǒng)。(A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319)聚焦是通過使用兩個物理分離的橢圓反射鏡聚焦二維光束來實(shí)現(xiàn)的。進(jìn)入系統(tǒng)的X射線可以通過系統(tǒng)聚焦到納米尺度大小的光斑。該系統(tǒng)在VirtualLab Fusion中進(jìn)行了建模和仿真,并計(jì)算了焦點(diǎn)位置的電場。 VZn=rw 07g':QU@ V%0I%\0Y az;Q"V'6 建模任務(wù) bizTd a&{X!:X <+j)P4O4 U5HKRO 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(1) \!50UVzm) o
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