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超透鏡是一種通過(guò)將具有特殊電磁特性的光學(xué)天線,按照一定方式進(jìn)行排列的二維平面透鏡結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)對(duì)入射光振幅、相位、偏振等參量的靈活調(diào)控,可以用在超分辨顯微成像、全息光學(xué)、消色差透鏡等方面。超透鏡可以將包括白光在內(nèi)的整個(gè)可見(jiàn)光譜,聚焦在同一點(diǎn)上且具有很高的分辨率。
一方面,通過(guò)導(dǎo)入ZEMAX的Binary 2 Surface,VirtualLab Fusion可以對(duì)功能性的MetaLens進(jìn)行建模和仿真,以研究其相位調(diào)制效果;另一方面,VirtualLab Fusion也可以通過(guò)傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM)以及參數(shù)運(yùn)行(New Parameter Run)和參數(shù)優(yōu)化(New Parameter Optimization)功能,實(shí)現(xiàn)MetaGrating的設(shè)計(jì)和優(yōu)化,以獲得偏振無(wú)關(guān)和高效率的光柵結(jié)構(gòu)。
對(duì)于MetaLens以及MetaGrating,我們采用了納米壓印技術(shù),結(jié)合沉積、刻蝕等半導(dǎo)體工藝技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)低成本大面積的超透鏡結(jié)構(gòu)加工。
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