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    [分享]近紅外超透鏡的設(shè)計(jì)與制備 [復(fù)制鏈接]

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    離線gangzi0801
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-04-14
    關(guān)鍵詞: 超透鏡
    透鏡是基于超表面的成像器件,能夠精確調(diào)控光的相位、偏振、振幅,具有輕薄、易集成、平面化的優(yōu)點(diǎn)。針對(duì)近紅外成像器件的小型化、集成化發(fā)展趨勢(shì),基于非晶硅材料設(shè)計(jì)制備了近紅外偏振不敏感超透鏡。針對(duì)超透鏡的基元結(jié)構(gòu)選擇問(wèn)題,對(duì)比了采用8階、6階基元設(shè)計(jì)的超透鏡聚焦效率;為提高加工容差和降低加工難度,采用了最大深寬比為6的8階基元設(shè)計(jì)超透鏡;針對(duì)超透鏡仿真與加工之間跨度大的問(wèn)題,利用化學(xué)氣相沉積的方法生長(zhǎng)了600 nm厚度的多晶硅,利用電子束刻蝕等工藝制備了超透鏡樣品。測(cè)試結(jié)果表明:超透鏡形貌結(jié)構(gòu)良好,聚集效率為65%。
    附件: 近紅外超透鏡的設(shè)計(jì)與制備.rar (1175 K) 下載次數(shù):35 ,售價(jià):2光幣[記錄](méi)
     
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    離線zju2013mz
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-04-22
    感謝樓主分享資源!學(xué)習(xí)!
    離線ct423
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-04-28
    學(xué)習(xí)一下
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-12-28
    感謝樓主資料分享
    離線rainbowsea
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2023-04-28
    感謝分享,非常需要