衍射光學元件(Diffractive Optical Elements,DOE)是通過表面的浮雕結構對入射光相位進行調制,在輸出面得到任意形狀光斑的一類光學器件。
p{j.KI s7 =fO5cA6Z 衍射光學元件以其優(yōu)越的性能,成為光學界的研究熱點。但是由于精密技術及超精密技術的發(fā)展限制,衍射光學元件的制備也受到了限制。
R~S;sJ& c `.i!NBA'6 衍射光學元件不僅具有體積小、重量輕的優(yōu)點,并且在傳統(tǒng)衍射光學元件的基礎上又多了許多新特點:
C,NJb+J C,v(:ZE$J7 高衍射效率 /,g