UID:315360
18844167969:解決吸收,保證材料充分氧化 (2022-08-29 16:14) rrG}; A
UID:318142
ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下,人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下,一般離子源才是供氧的主力。(APC流量一般小于離子源供氧) (2022-07-02 19:40) p[)yn%uh
UID:326212