菲索干涉系統(tǒng)通過標(biāo)準(zhǔn)參考鏡出射理想波前進(jìn)行檢測,測量精度取決于參考面面形加工精度,但是在進(jìn)行菲索干涉系統(tǒng)仿真時,不知道是否需要考慮標(biāo)準(zhǔn)參考鏡前的擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)每一部分的出射的波前質(zhì)量。 S9F]!m^i
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請教的問題是,波前質(zhì)量也要達(dá)到測量精度要求,還是只需要達(dá)到基本擴(kuò)束準(zhǔn)直效果,如果需要優(yōu)化波前的話,操作數(shù)如何控制呢,總是達(dá)不到目標(biāo)波前質(zhì)量。