日前,CNIPA公布了華為申請的兩項MEMS微鏡+激光
模塊專利(申請公布號:CN115343836A、CN115343837A),這兩項專利分別針對微鏡
芯片、微鏡組建。
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r^5 9ApGn!` 其中,CN115343836A主要為微鏡芯片,該微鏡芯片包括:固定框架、可動部件和第一懸臂。通過在第一懸臂上設置凸部,提高了第一懸臂厚度,增大了微鏡的振動頻率,避免微鏡芯片在沖擊振動等情況下發(fā)生過大形變導致第一懸臂斷裂損壞,提升微鏡的抗振性能。
0^{?kg2o_ 4$!iw3N( N%&D(_ CN115343837A的微鏡組件包括:層疊設置的第一限位部件、微鏡芯片和第二限位部件。
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