[原創(chuàng)]淀積角隨鍍膜機(jī)幾何參數(shù)的變化計算 [復(fù)制鏈接]

淀積角隨鍍膜機(jī)幾何參數(shù)的變化計算 tv 7"4$T  
計算不同位置處的淀積角大小隨DOME的曲率半徑、工轉(zhuǎn)架高度、蒸發(fā)源距離中心的水平距離等參數(shù)而引起的變化 A)%!9i)  
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圖片:1.png

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蒸發(fā)角容易計算，考慮進(jìn)蒸發(fā)特性 8ly6CP+^B  
轉(zhuǎn)一圈積分 muMd
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再以傘架天頂為基準(zhǔn)，歸一化。就得到厚度均勻性分布了。 ~"VM_Lz]5  

學(xué)習(xí) 不斷進(jìn)步

這只是理想狀態(tài)， +2w<V0V_  
實際上還要受真空度，離子源放氣影響的。 6_&S ?yA  
不同電子槍的熔形也不同；熔形不同，材料不同，分布就不同。 WfHa  
哪怕是同一種材料，不同的蒸發(fā)速率，分布也是不一樣的。

左邊曲線圖標(biāo)表示什么 f\r"7j  

學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

只是理論計算，跟電子槍，真空，抽速，溫度影響很大

學(xué)習(xí)  好資料

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