為了研究微透鏡 陣列成像質量的影響因素，針對慢刀伺服加工和紫外（UV）光固化工藝制備的微透鏡陣列，引入微透鏡陣列鏡片的誤差，建立基于Zemax光學軟件的光學微透鏡陣列成像仿真模型，分析透鏡單元的高度、曲率半徑、入瞳直徑等誤差對微透鏡陣列成像質量的影響。搭建光學測試平臺對評價微透鏡陣列成像性能的光學參數進行檢測，包括各透鏡單元的焦斑大小、位置誤差及其焦距值，并利用點擴散函數（PSF）曲線的半峰全寬值對光場成像結果進行成像質量評價，測量得到微透鏡陣列的焦距標準誤差為0.12 mm。將測量結果與仿真結果相比，可得PSF曲線的半峰全寬值誤差在12%左右，證明了仿真模型的準確性。利用仿真和實驗的方法建立了微透鏡陣列鏡片誤差與其光學成像質量之間的關系，這可為基于功能實現的光學微透鏡陣列的超精密加工工藝提供理論基礎和指導。
