首先聲明一下，在這里表達的只是個人看法，并不一定有道理。
8 s!0Z1Roc 關(guān)于
鍍膜，大家都追求的是鍍膜的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
KD gJ~T 甚至為了穩(wěn)定性，一些鍍膜機廠家寧可犧牲性能。
`?{QCBVj 比如說鍍膜過程中使用APC充氧：
< i* v 很多人認為APC充氧只是為了給類似于TiO2這些易失氧膜料進行補氧。
l]inG^s 其實不然。使用離子源的情況下，氧其實是足夠的。
kVw5z 3]Xg APC充氧還有一個重要的目的，維持鍍膜環(huán)境的穩(wěn)定性。
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= ZJ@ APC是自動壓力控制的英文縮寫，它能起到穩(wěn)定真空腔體真空度的作用。
rH8^Fl&jT ,K .P,z~* 在真空中，有個平均自由程的概念，一個粒子平均運動多遠才能和其他粒子碰撞。
lz@fXaZM 真空度越高，平均自由程越長，
電子槍和離子源發(fā)出來原子或者離子就會更多的到達基板表面。
BKfcK>%g 但是隨著腔體的逐漸變臟，鍍膜時候的真空度會變差，到達基板的原子和離子就會變少。
}rsD$ 一般會表現(xiàn)為外圈和內(nèi)圈的分布變化，還有
折射率的變化。
5b3Wt7 為了讓分布和折射率穩(wěn)定，在鍍膜過程中使用APC是個解決的辦法。
Oga0CR_ wxVf6` APC充氧口（也有充氮，充其他氣體的）的位置也很重要。
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