[討論]有沒(méi)有了解或者知道積分散射顯微鏡的？ [復(fù)制鏈接]

這種低成本的非接觸顯微鏡，不知道前景如何？

不知道樓主指的是什么？顯微鏡基本上都是非接觸式的

恩，沒(méi)聽(tīng)說(shuō)過(guò)。樓主簡(jiǎn)單介紹下吧

介紹一下,大家討論討論,希望這個(gè)特色版塊打出名氣.

哈哈，有人關(guān)注，真好！ [ A 7{}  
k-)Ls~#+  
我還不太了解顯微鏡，上面的表述可能有常識(shí)性錯(cuò)誤，海涵海涵！ IA`Lp3Z  
E@AV?@<sc  
所謂積分散射顯微鏡呢，主要是針對(duì)超光滑表面的，表面粗糙度1A量級(jí)，比如微電子中的硅片，以及激光腔的反射片透射片等。 *55unc  
Yvu?M8aK!  
原理很簡(jiǎn)單，入射光打到樣品表面，除了鏡面反射之外，在各個(gè)方向（樣品一側(cè)的2派弧度內(nèi)）都有微弱的散射光（Scattering），其強(qiáng)度分布可以從衍射理論推出，稱為ARS分布；而把ARS在半球空間內(nèi)積分，稱為總積分散射（TIS），理論表明，TIS與樣品表面粗糙度之間有個(gè)簡(jiǎn)單的關(guān)系，故可以通過(guò)測(cè)量TIS來(lái)得到樣品的表面形貌。 Nu'ox. V  
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所謂非接觸主要是針對(duì)原子力顯微鏡（AFM）來(lái)講的，因?yàn)锳FM是可以測(cè)量到1A量級(jí)的，但是會(huì)損傷表面。 ?0qP6'nWx  
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注：A為10的-10次方米。 Q8.LlE999  
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不知我講清楚沒(méi)有，歡迎大家繼續(xù)討論。

是不是可以這樣理解：由于所看樣品表面非常光滑，其散射光很少，所以必須用積分的方法來(lái)觀察？

再問(wèn)問(wèn)主要要看樣品的什么指標(biāo)呀

不是散射光少，而是微弱；雖然微弱，但還是能測(cè)的，單獨(dú)測(cè)散射光（角分布）的叫微分散射儀。 ?0?3yD-!9  
X; 6=WqJj  
積分的原因是TIS（總散射積分）可以反映表面粗糙度。 ?nWzJ5w3  
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主要看樣品的表面粗糙度，要達(dá)到1A量級(jí)，就是能分辨這樣的超光滑表面，找出好的片子和差的片子

那用途很窄呀,表面光潔度可以用金相顯微鏡來(lái)觀察

呵呵，是有點(diǎn)窄，專門(mén)為我們的某個(gè)項(xiàng)目服務(wù)的。 +.OdrvN4)  
不過(guò)應(yīng)用領(lǐng)域還算可以的，微電子領(lǐng)域等都有應(yīng)用，外國(guó)有很多人在搞 *>1^q9M  
呵呵，我們是做研究的，可能不那么重視市場(chǎng)