一、
鍍膜技術(shù)可區(qū)分為哪幾類?
En+4@BC 可區(qū)分為:(1)真空蒸鍍 (2)電鍍 (3)化學反應(yīng) (4)熱處理 (5)物理或機械處理
NWwfNb> 二、蒸鍍的加熱方式包括哪幾種?各具有何特點?
MR%M[SK1 加熱方式分為:
Bcrd}'no (1)電阻加熱 (2)感應(yīng)加熱 (3)電子束加熱 (4)雷射加熱 (5)電弧加熱
s\#kqw\x LYGFEjS[ 各具有的特點:
9%oLv25{) (1)電阻加熱:這是一種最簡單的加熱方法,設(shè)備便宜、操作容易是其優(yōu)點。
8~:qn@Z|E Ts:dnGR5 (2)感應(yīng)加熱:加熱效率佳,升溫快速,并可加熱大容量。
rj$u_y3S* :::"C"Ge (3)電子束加熱:這種加熱方法是把數(shù)千eV之高能量電子,經(jīng)磁場聚焦,直接撞擊蒸發(fā)物加熱,溫度可以高達30000C。而它的電子的來源有二:高溫金屬產(chǎn)生的熱電子,另一種電子的來源為中空陰極放電。
1>bkVA L|S#(0 (4)雷射加熱:
激光束可經(jīng)由
光學聚焦在蒸鍍源上,產(chǎn)生局部瞬間高溫使其逃離。最早使用的是脈沖紅寶雷射,而后發(fā)展出紫外線準分子雷射。紫外線的優(yōu)點是每一
光子的能量遠比紅外線高,因此準分子雷射的功率密度甚高,用以加熱蒸鍍的功能和電子束類似。常被用來披覆成份復(fù)雜的化合物,鍍膜的品質(zhì)甚佳.它和電子束加熱或濺射的過程有基本上的差異,準分子雷射脫離的是微細的顆粒,后者則是以分子形式脫離。
{~16j" _.J{U0N (5)電弧加熱:
ho#]?Z# 陰極電弧沉積的優(yōu)點為:
R[wy{4<y (1)蒸鍍速率快,可達每秒1.0微米
Qz{:m (2)基板不須加熱
Y1{6lhxgE (3)可鍍高溫金屬及陶瓷化合物
f|?i6.N>f (4)鍍膜密高且附著力佳
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