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    [求助]SiC上鍍Si改性拋光后出現(xiàn)水波紋狀是什么原因? [復制鏈接]

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    離線wangshaoan
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-09-12
    部分出現(xiàn)彩虹紋,最后拋光完像水霧一樣的水波紋。是不是鍍的Si膜不均勻?
     
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    離線oyeah
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2023-09-14
    鍍得均勻,拋光去除不均勻