為什么要在高真空條下鍍膜? =$b^X?x
答案 BS+N
1、真空狀態(tài)下,膜料的熔點(diǎn)溫度和蒸發(fā)溫度要比在大氣狀態(tài)下低得多。對(duì)高熔點(diǎn)的氧化物膜料,在真空狀態(tài)下其熔點(diǎn)要低得多。也就容易到蒸發(fā)溫度而不需太高的能量。 l4r09"S|V
2、真空狀態(tài)下,真空室中空氣極少,膜料分子從蒸發(fā)源到達(dá)基片表面的路程中幾乎不與殘留在真空室中的氣體分子碰撞,即分子自由程長。膜料容易沉積在基片上。 8Jxo;Y
3、由于真空室中氣體分子少,因而氧分子、硫分子等化學(xué)活潑分子也少,高溫狀態(tài)的膜料分子就不會(huì)與之發(fā)生化學(xué)變化,從而保證膜層的膜料純度。 ~poy`h'
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在鍍膜之前為什么要預(yù)熔材料? ";s?#c
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在鍍膜之前要把材料預(yù)熔透徹,主要是為了材料進(jìn)行放氣,消除材料中其它成份,保持鍍膜不產(chǎn)生飛濺和保持真空度穩(wěn)定。 _E&*JX
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鍍膜過程中產(chǎn)生雜質(zhì)的原因和對(duì)策? c5]^jUB6
答案 a{Tv#P*!
1.電子槍周圍沒有打掃干凈用吸塵器、百潔布等清冼電子槍部件 =AZ>2P
2、坩鍋沒有清冼干凈坩鍋邊緣用百潔布、酒精、紗布清冼干凈 Jqjb@'i
3、鍍膜時(shí)電子槍光斑不在中間而打到邊緣鍍膜時(shí)必須把電子槍光斑打到中間而不能打偏 hQ8/-#LO_
4、預(yù)熔材料不透徹把膜料充分地預(yù)熔透徹 FS`{3d2K +
5、預(yù)熔膜料電流加得太快加電流要緩慢,不要加的太快 d;;]+%
6、電子槍檔板不干凈每罩要更換電子槍檔板,以及電子槍檔板要清冼干凈 k\x>kJ}0
7、膜料污染避免膜料相互污染,以及保存方法 ETjlq]@j
8、膜料本身不純更換其它品種膜料。