[求助]雙凸PMMA透鏡鍍AR膜(求各位好心前輩指教) [復制鏈接]

1.目前難題，膜層牢固度不夠，膜裂嚴重 shD4";8*@  
2.目前鍍膜工藝 }hE!0q~MfM  
設備：光馳1550 X$Shi *U[  
鍍膜前60度恒溫40分鐘 `PZ\3SC'i  
第一層不使用離子源清潔、同時第一層不使用離子源輔助 5)Z:J  
TI3O5打底厚度200nm O5MV&Zb(  
功能層：石英環(huán)/TI3O5交替鍍膜 )<%CI#s#  
功能層使用離子源輔助鍍膜 QFK'r\3pU  
離子源工藝能量為：500V/500mA $O&N  
3.聽說有加硬的方法，想請教一下各位好心前輩一些問題 #@' B\!<@=  
(1)加硬之后不會對PMMA光學性能產生影響嗎，例如，透射率，折射率 DUSQh+C  
(2)有沒有可以加硬不改變PMMA光學性能的廠家推薦。 ~g9~D}48k'  

Ti的氧化物好像低溫是不行的，你試下用Si打底。

  SiO打底。鍍完了退火

如果你要用高折材料打底的話，試一下AL2O3

dumoty:  SiO打底。鍍完了退火 (2024-02-28 16:16)  fh66Gn,  

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