這是一個簡單的二維
光柵的案例,它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體),并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
s|YH_1r t]c<HDCK 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當
波長為193nm時,平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度
S偏振光照明的場矢量
wl=tN{R P偏振光照明的場矢量 O7.V>7Y9H
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